电容电压公式 电容的测量方法

半导体电容的测量，尤其是皮法（pF）级或纳法（nF）级的小容量，是电子工程中的关键任务。对于更为精细的飞法（fF）级或1e-15级的超低电容，需要使用特别的测量工具和技术来确确度。

通过使用如Keithley 4200A-SCS参数分析仪等高级设备，并选配4215-CVU电容电压单元，用户能够测量超低电容值。这种工具设计有独特的电路，并通过Clarius+软件进行控制，支持多种特性和诊断工具，确保了最精确的测量结果。

本文将详细介绍如何使用4215-CVU进行飞法电容的测量，包括正确的连接方式和在Clarius软件中如何设置以获得最佳测量结果。

连接器件

正确连接被测器件（DUT）至关重要。应仅使用随机附带的红色A电缆将CVU连接到DUT，以确保最佳的测量结果。这种电缆的特性阻抗为100W，而并联的两条电缆在高频源测量应用中则为50W。使用随机附带的附件和扭矩扳手可以确保连接的稳固和良好接触。

在测量配置上，无论是2线传感还是4线传感，都应尽可能靠近器件测量电压，以简化灵敏的测量。同轴电缆的外部层也必须尽可能近地连接到器件上，以减小电感和谐振效应。

配置Clarius+软件进行飞法测量

在Clarius软件中，用户需要在Library中选择飞法项目，并配置测试设置以执行测量。这个过程包括创建项目、配置测试、调节测量和定时设置等步骤。其中，测量设置如电流测量范围、AC驱动电压和测试频率等对测量结果至关重要。而定时设置则允许用户调节测量窗口，以实现想要的精度和噪声水平。

执行测量

在硬件和软件配置完成后，就可以执行测量了。通常，仪器应预热至少一小时以确保最佳性能。执行测量的步骤包括测量器件的电容、测量开路、分析结果和重复测量等。其中，开路测量的目的是获得线缆和连接的电容，以便在最终的测量中进行补偿。

总结